Enhanced Wettability, Hardness, and Tunable Optical Properties of SiCxNy Coatings Formed by Reactive Magnetron Sputtering

Enhanced Wettability, Hardness, and Tunable Optical Properties of SiCxNy Coatings Formed by Reactive Magnetron Sputtering Научная публикация

Журнал

Materials
ISSN: 1996-1944

Вых. Данные

Год: 2023, Том: 16, Номер: 4, Номер статьи : 1467, Страниц : 23 DOI: 10.3390/ma16041467

Авторы

Sulyaeva Veronica S. ¹ , Kolodin Alexey N. ¹ , Khomyakov Maxim N. ² , Kozhevnikov Alexander K. ¹ , Kosinova Marina L. ¹

Организации

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry SB RAS, 3, Acad. Lavrentiev Ave., 630090 Novosibirsk, Russia
2	Institute of Laser Physics SB RAS, 15B, Acad. Lavrentiev Ave., 630090 Novosibirsk, Russia

Информация о финансировании (1)

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации

121031700314-5

Sulyaeva V.S. , Kolodin A.N. , Khomyakov M.N. , Kozhevnikov A.K. , Kosinova M.L.
Enhanced Wettability, Hardness, and Tunable Optical Properties of SiCxNy Coatings Formed by Reactive Magnetron Sputtering
Materials. 2023. V.16. N4. 1467 :1-23. DOI: 10.3390/ma16041467 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:	15 дек. 2022 г.
Опубликована в печати:	9 февр. 2023 г.

Web of science:	WOS:000940093600001
Scopus:	2-s2.0-85149198901
РИНЦ:	50368964
OpenAlex:	W4319983888

БД	Цитирований
OpenAlex	6
Web of science	3
Scopus	3
РИНЦ	5