Использование буферного слоя оксида алюминия на кремнии для СVD синтеза вертикально ориентированных массивов УНТ» Conference attendances
Language | Русский | ||||
---|---|---|---|---|---|
Participant type | Устный | ||||
Conference |
XIV Сибирский семинар по высокотемпературной сверхпроводимости и физике наноструктур ОКНО-2023 06-10 Sep 2023 , Россия, Красноярск, СФУ, Свободный, 79 |
||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Cite:
Кондранова А.М.
, Городецкий Д.В.
, Окотруб А.В.
Использование буферного слоя оксида алюминия на кремнии для СVD синтеза вертикально ориентированных массивов УНТ»
XIV Сибирский семинар по высокотемпературной сверхпроводимости и физике наноструктур ОКНО-2023 06-10 сент. 2023
Использование буферного слоя оксида алюминия на кремнии для СVD синтеза вертикально ориентированных массивов УНТ»
XIV Сибирский семинар по высокотемпературной сверхпроводимости и физике наноструктур ОКНО-2023 06-10 сент. 2023