Контроль состава и структуры многокомпонентных пленок на основе диоксида циркония, полученных химическим осаждением из газовой фазы, с помощью новых смешанных металлорганических прекурсоров

Контроль состава и структуры многокомпонентных пленок на основе диоксида циркония, полученных химическим осаждением из газовой фазы, с помощью новых смешанных металлорганических прекурсоров Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2020, Volume: 61, Number: 11, Pages: 1825-1836 Pages count : 12 DOI: 10.26902/JSC_id63241

Authors

Крисюк В.В. ¹ , Самелор Д. ² , Тургамбаева А.Е. ¹ , Эсван Ж. ² , Корольков И.В. ¹ , Максимовский Е.А. ¹ , Трубин С.В. ¹ , Шевцов Ю.В. ¹ , Валас К. ²

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2	Межуниверситетский центр исследования материалов и технологий, Национальный исследовательский центр Франции

Три летучих смешанно-металльных прекурсора [ZrL4Pb(hfa)2] (1), [ZrL4PbL2] (2) и [ZrL4La(dpm)3] (3) (L = 2-метокси-2,6,6-триметил-3,5-гептандионат; dpm = 2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионат; hfa = 1,1,1,5,5,5-гексафтор-2,4-пентандионат) использованы для химического осаждения из газовой фазы (MOCVD) многокомпонентных пленок на основе оксида циркония. Эксперименты по осаждению проводились в реакторе с горячими стенками в диапазоне 600—750 °C на кремниевых подложках при 20 Торр, в присутствии кислорода. Рентгенофазовый анализ показал, что прекурсоры 1 и 2 дают пленки, где основные кристаллические фазы — это твердые растворы на основе тетрагональной и кубической ZrO2. Свинец не образует отдельные кристаллические фазы, однако по данным рентгенофотоэлектронной спектроскопии он растворен в матрице ZrO2 в виде оксида. Из 3 получены пленки La2Zr2O7 с использованием двух способов подачи прекурсора: испарение в потоке аргона и в системе прямого впрыска раствора (DLI). показано, что состав и структура полученных пленок определяются составом используемого предшественника. Обсуждаются результаты исследования термического поведения прекурсоров в конденсированной и газовой фазе.

Крисюк В.В. , Самелор Д. , Тургамбаева А.Е. , Эсван Ж. , Корольков И.В. , Максимовский Е.А. , Трубин С.В. , Шевцов Ю.В. , Валас К.
Контроль состава и структуры многокомпонентных пленок на основе диоксида циркония, полученных химическим осаждением из газовой фазы, с помощью новых смешанных металлорганических прекурсоров
Журнал структурной химии. 2020. Т.61. №11. С.1825-1836. DOI: 10.26902/JSC_id63241 OpenAlex

Submitted:	Mar 27, 2020
Published print:	May 25, 2020

≡ OpenAlex:

W3194839114