ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТЕТРАКИС(ДИМЕТИЛАМИДО)ЦИРКОНИЯ КАК ПРЕДШЕСТВЕННИКА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ

ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТЕТРАКИС(ДИМЕТИЛАМИДО)ЦИРКОНИЯ КАК ПРЕДШЕСТВЕННИКА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ArticleGenre_short.SHORT_COMMUNICATION

Journal

Известия Академии наук. Серия химическая
ISSN: 1026-3500 , E-ISSN: 2658-784X

Output data

Year: 2025, Volume: 74, Number: 6, Pages: 1864-1870 Pages count : 7

Tags

тетракис(диметиламидо)цирконий, летучие комплексы металлов с органическими лигандами, масс-спектрометрия, тензиметрия, атомно-слоевое осаждение

Authors

Викулова Е.С. ¹ , Зеленина Л.Н. ¹ , Тургамбаева А.Е. ¹ , Ильин И.Ю. ¹ , Доровских С.И. ¹ , Морозова Н.Б. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, Российская Федерация, 630090 Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 3

Тетракис(диметиламидо)цирконий, Zr(NMe2)4, TDMAZ, является востребованным предшественником для получения тонких пленок ZrO2 методом атомно-слоевого осаждения (ALD). Его термохимические свойства мало изучены, что не позволяет эффективно оптимизировать условия процессов роста слоев. Проведено комплексное исследование термического поведения TDMAZ в конденсированной и газовой фазах. Согласно результатам изучения методом тензиметрии (статический метод с мембранным нуль-манометром) газовая фаза над жидким соединением состоит из молекул димера Zr2(NMe2)8, а в ненасыщенном паре происходит их диссоциация, вероятно, до мономера. Определены температурная зависимость давления насыщенного пара и термодинамические характеристики процесса испарения в интервале температур 60—110 °C. По данным масс-спектрометрического анализа состава газовой фазы разложение паров на нагретой поверхности начинается при 240±10 °C, максимальная степень термолиза достигается при температурах выше 280 °C. На основании полученных данных рекомендованы температурные границы парообразования и осаждения в процессах ALD из TDMAZ.

Викулова Е.С. , Зеленина Л.Н. , Тургамбаева А.Е. , Ильин И.Ю. , Доровских С.И. , Морозова Н.Б.
ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТЕТРАКИС(ДИМЕТИЛАМИДО)ЦИРКОНИЯ КАК ПРЕДШЕСТВЕННИКА ДЛЯ ПРОЦЕССОВ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ
Известия Академии наук. Серия химическая. 2025. Т.74. №6. С.1864-1870.

Vikulova E.S. , Zelenina L.N. , Turgambaeva A.E. , Ilyin I.Y. , Dorovskikh S.I. , Morozova N.B.
Study of thermal properties of tetrakis(dimethylamido)zirconium as a precursor for atomic layer deposition processes
Russian Chemical Bulletin. 2025. V.74. N6. P.1864-1870. DOI: 10.1007/s11172-024-4671-2 WOS OpenAlex

Published print:

Jun 30, 2025

No identifiers

Пока нет цитирований