Влияние отжига на строение и свойства тонких фторполимерных покрытий, полученных методом HW CVD

Влияние отжига на строение и свойства тонких фторполимерных покрытий, полученных методом HW CVD Full article

Journal

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Output data

Year: 2021, Volume: 62, Number: 9, Pages: 1539-1545 Pages count : 7 DOI: 10.26902/jsc_id79943

Authors

Сафонов А.И. ¹ , Богословцева А.Л. ^1,2 , Суляева В.С. ³ , Киселёва М.С. ⁴ , Жидков И.С. ^4,5 , Старинский С.В. ^1,2

Affiliations

1	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
2	Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Россия
3	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
4	Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина, г. Екатеринбург, Россия
5	Институт физики металлов им. М.Н. Михеева УрО РАН, Екатеринбург, Россия

Сафонов А.И. , Богословцева А.Л. , Суляева В.С. , Киселёва М.С. , Жидков И.С. , Старинский С.В.
Влияние отжига на строение и свойства тонких фторполимерных покрытий, полученных методом HW CVD
Журнал структурной химии. 2021. V.62. N9. P.1539-1545. DOI: 10.26902/jsc_id79943 РИНЦ OpenAlex

Submitted:	Apr 18, 2021
Accepted:	May 12, 2021
Published print:	Sep 1, 2021

Elibrary:	46613333
OpenAlex:	W3164302509

Пока нет цитирований