Thermodynamic Characterization of Ruthenium β-Diketonate Complex Ru(thd)3 as a Precursor for the CVD Preparation of Coatings Full article
| Journal |
Russian Journal of Inorganic Chemistry
ISSN: 0036-0236 , E-ISSN: 1531-8613 |
||
|---|---|---|---|
| Output data | Year: 2020, Volume: 65, Number: 5, Pages: 747-751 Pages count : 5 DOI: 10.1134/s0036023620050241 | ||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Sysoev S.V.
, Kuzin T.M.
, Zelenina L.N.
, Zherikova K.V.
, Gelfond N.V.
Thermodynamic Characterization of Ruthenium β-Diketonate Complex Ru(thd)3 as a Precursor for the CVD Preparation of Coatings
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2020. V.65. N5. P.747-751. DOI: 10.1134/s0036023620050241 WOS OpenAlex
Thermodynamic Characterization of Ruthenium β-Diketonate Complex Ru(thd)3 as a Precursor for the CVD Preparation of Coatings
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2020. V.65. N5. P.747-751. DOI: 10.1134/s0036023620050241 WOS OpenAlex
Original:
Сысоев С.В.
, Кузин Т.М.
, Зеленина Л.Н.
, Жерикова К.В.
, Гельфонд Н.В.
Исследование термодинамических свойств β-дикетонатного комплекса рутения Ru(thd)3 – прекурсора для получения покрытий химическим осаждением из газовой фазы
Журнал неорганической химии. 2020. Т.65. №5. С.673-678. DOI: 10.31857/s0044457x20050244 OpenAlex
Исследование термодинамических свойств β-дикетонатного комплекса рутения Ru(thd)3 – прекурсора для получения покрытий химическим осаждением из газовой фазы
Журнал неорганической химии. 2020. Т.65. №5. С.673-678. DOI: 10.31857/s0044457x20050244 OpenAlex
Identifiers:
| Web of science: | WOS:000539299500020 |
| OpenAlex: | W3032893940 |