КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ТЕРБИЯ ИЗ ПАРОВ Tb(dpm)3

КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ТЕРБИЯ ИЗ ПАРОВ Tb(dpm)3 Full article

Journal

Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X

Output data

Year: 2014, Volume: 50, Number: 6, Pages: 625-630 Pages count : 6 DOI: 10.7868/S0002337X14060013

Authors

Баковец В.В. ¹ , Белая С.В. ¹ , Лобзарева М.Н. ¹ , Максимовский Е.А. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО Российской академии наук

Изучена кинетика процесса химического осаждения пленок оксида тербия из паров комплексного соединения Tb(dpm)3. При осаждении в температурной области 465–560°C формируются пленки толщиной 25–360 нм. Морфология пленок при парциальном давлении прекурсора до 13 Па в атмосфере аргона представлена гладкой поверхностью с отдельными островками. Более высокие давления прекурсора приводят к образованию плотных островковых пленок. В интервале температур осаждения 465–560°C процесс протекает в переходной области между кинетическим режимом с эффективной энергией активации 190 ± 15 кДж/моль и адсорбционным режимом с энергией активации 38 ± 5 кДж/моль. Порядок реакции по прекурсору равен 0.8.

Баковец В.В. , Белая С.В. , Лобзарева М.Н. , Максимовский Е.А.
КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ТЕРБИЯ ИЗ ПАРОВ Tb(dpm)3
Неорганические материалы. 2014. Т.50. №6. С.625-630. DOI: 10.7868/S0002337X14060013 РИНЦ OpenAlex

Submitted:

Nov 14, 2013

Elibrary:	21401550
OpenAlex:	W2315932165

DB	Citing
Elibrary	2