Abstract: Исследованы изменения характеристик фазового перехода полупроводник-металл в поликристаллических пленках VO2, полученных методом химического осаждения из паров ацетилацетоната ванадила и кислорода при вариации температуры синтеза от 373 до 473°C и давления кислорода в исходной газовой смеси от 25 до 90 ст. см3/мин. Критическая температура фазового перехода и шири- на гистерезиса рассчитаны из температурных зависимостей коэффициентов отражения пленок. Эти зависимости определены с использованием специальной спектрофотометрической системы при термоциклировании образцов в интервале от комнатной температуры до 100°C. Установлена взаимосвязь характеристик фазового перехода с фазовым составом и текстурой пленок. Обнаружено, что наибольшая критическая температура и наименьшее значение ширины гистерезиса соответствуют пленкам, которые содержат единственную моноклинную фазу VO2(M1) с преимущественной ориентацией (текстурой) кристаллитов в плоскости (011).

Cite: Шаяпов В.Р. , Яковкина Л.В.
ХАРАКТЕРИСТИКИ ФАЗОВОГО ПЕРЕХОДА В ПЛЕНКАХ ДИОКСИДА ВАНАДИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Журнал физической химии. 2019. Т.93. №8. С.1153-1158. DOI: 10.1134/S0044453719070252 РИНЦ OpenAlex

Translated: Shayapov V.R. , Yakovkina L.V.
Characteristics of the Phase Transition in Vanadium Dioxide Films Obtained via Chemical Vapor Deposition
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2019. V.93. N8. P.1449-1454. DOI: 10.1134/S0036024419070252 Scopus OpenAlex

Dates:

Submitted:	Oct 22, 2018
Accepted:	Nov 13, 2018

Identifiers:

Elibrary:	38253199
OpenAlex:	W2955674205

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: