Формирование наноструктур из поликристаллических пленок диоксида ванадия с помощью сканирующей зондовой литографии

Формирование наноструктур из поликристаллических пленок диоксида ванадия с помощью сканирующей зондовой литографии Full article

Journal

Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации Proceedings of the Russian higher school Academy of sciences
ISSN: 1727-2769 , E-ISSN: 2658-3747

Output data

Year: 2024, Number: 1, Pages: 48-61 Pages count : 14 DOI: 10.17212/1727-2769-2024-1-48-61

Authors

Манцуров Н.Д. ^1,2 , Комонов А.И. ² , Мутилин С.В. ² , Кичай В.Н. ³ , Яковкина Л.В. ³

Affiliations

1	Новосибирский государственный технический университет
2	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
3	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Манцуров Н.Д. , Комонов А.И. , Мутилин С.В. , Кичай В.Н. , Яковкина Л.В.
Формирование наноструктур из поликристаллических пленок диоксида ванадия с помощью сканирующей зондовой литографии
Доклады Академии наук высшей школы Российской Федерации Proceedings of the Russian higher school Academy of sciences. 2024. №1. С.48-61. DOI: 10.17212/1727-2769-2024-1-48-61 РИНЦ OpenAlex

Published print:

Jan 1, 2024

Elibrary:	65623628
OpenAlex:	W4395457501

Пока нет цитирований