Abstract: Методом химического осаждения из газовой фазы при понижен-ном давлении с использованием триэтиламинборана в качестве исходного соединения и аммиака, как дополнительного источника азота, синтезированы пленки карбонитрида бора BCxNy различного состава. В ходе экспериментов варьировался состав исходной газовой смеси. Свойства полученных пленок изучены методами эллипсометрии, ИК-спектроскопии, энергодисперсионной спектроскопии, растровой электронной микроскопии, наноиндентирования и спектроскопии поверхностных акустических волн. Установлена связь механических свойств и плотности пленок с их химическим составом. Показано, что при увеличении концентрации аммиака в исходной газовой смеси происходит изменение элементного состава пленок от состава, близкого к карбиду бора, к составу, близкому к нитриду бора, что вызывает уменьшение модуля Юнга, твердости и плотности пленок.

Cite: Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л. , Смирнов А.П. , Максимовский Е.А. , Аюпов Б.М. , Румянцев Ю.М.
Механические свойства и плотность пленок BCxNy, синтезированных из триэтиламинборана методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении
Неорганические материалы. 2011. Т.43. №3. С.312-316. РИНЦ

Translated: Shayapov V.R. , Kosinova M.L. , Smirnov A.P. , Maksimovskii E.A. , Ayupov B.M. , Rumyantsev Y.M.
Mechanical properties and density of BCxNy films grown by low-pressure chemical vapor deposition from triethylamine borane
Inorganic Materials. 2011. V.47. P.262-266. DOI: 10.1134/S0020168511030204 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Dates:

Submitted:

Feb 27, 2010

Identifiers:

Elibrary:

15598557

Citing:

DB	Citing
Elibrary	3