Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии Full article
Journal |
Оптический журнал
ISSN: 1023-5086 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2011, Volume: 78, Number: 6, Pages: 3-9 Pages count : 7 | ||||
Tags | обратные задачи, первоначальное приближение, тонкие пленки, спектрофотометрия, эллипсометрия | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Abstract:
Рассмотрен подход к поиску первоначальных условий при решении обратных оптических задач по определению показателей преломления и толщины диэлектрических пленок на подложках. Предлагается использование спектров отражения, полученных при разных углах падения света на образец, из которых по местоположению экстремумов интенсивности вычисляются показатели преломления и толщина пленок. В монохроматической нулевой эллипсометрии измерение параметров поляризации света при разных углах падения позволяет для каждого угла определить показатель преломления и эллипсометрическую толщину. Первоначальное приближение толщины для решения обратной задачи в эллипсометрии на основе данных для всех использованных углов падения света на образец получается из оптической толщины пленки, определенной по спектрам отражения при малых углах падения.
Cite:
Аюпов Б.М.
, Зарубин И.А.
, Лабусов В.А.
, Суляева В.С.
, Шаяпов В.Р.
Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии
Оптический журнал. 2011. Т.78. №6. С.3-9.
Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии
Оптический журнал. 2011. Т.78. №6. С.3-9.
Translated:
Ayupov B.M.
, Sulyaeva V.S.
, Shayapov V.R.
, Zarubin I.A.
, Labusov V.A.
Searching for the starting approximation when solving inverse problems in ellipsometry and spectrophotometry
Journal of Optical Technology. 2011. V.78. N6. P.350-354. DOI: 10.1364/jot.78.000350 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Searching for the starting approximation when solving inverse problems in ellipsometry and spectrophotometry
Journal of Optical Technology. 2011. V.78. N6. P.350-354. DOI: 10.1364/jot.78.000350 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: | Oct 15, 2010 |
Identifiers:
No identifiers
Citing:
Пока нет цитирований