Abstract: Рассмотрен подход к поиску первоначальных условий при решении обратных оптических задач по определению показателей преломления и толщины диэлектрических пленок на подложках. Предлагается использование спектров отражения, полученных при разных углах падения света на образец, из которых по местоположению экстремумов интенсивности вычисляются показатели преломления и толщина пленок. В монохроматической нулевой эллипсометрии измерение параметров поляризации света при разных углах падения позволяет для каждого угла определить показатель преломления и эллипсометрическую толщину. Первоначальное приближение толщины для решения обратной задачи в эллипсометрии на основе данных для всех использованных углов падения света на образец получается из оптической толщины пленки, определенной по спектрам отражения при малых углах падения.

Cite: Аюпов Б.М. , Зарубин И.А. , Лабусов В.А. , Суляева В.С. , Шаяпов В.Р.
Поиск первоначального приближения при решении обратных задач в эллипсометрии и спектрофотометрии
Оптический журнал. 2011. Т.78. №6. С.3-9.

Translated: Ayupov B.M. , Zarubin I.A. , Labusov V.A. , Sulyaeva V.S. , Shayapov V.R.
Searching for the starting approximation when solving inverse problems in ellipsometry and spectrophotometry
Journal of Optical Technology. 2011. V.78. N6. P.350-354. DOI: 10.1364/jot.78.000350 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Dates:

Submitted:

Oct 15, 2010

Identifiers: No identifiers

Citing: Пока нет цитирований